二手 ENTEGRIS F300 AutoPod #9174710 待售

ENTEGRIS F300 Autopod晶片處理程序是一種自動化設備,旨在實現各種半導體晶片的快速、高效處理和移動。這種專門設計的晶圓處理程序經過優化，可用於高度先進的ENTEGRIS F300半導體處理系統。F300 Autopod通過其先進的安全接觸泡沫裝置技術提供了高度精確的可重復運動。這臺機器采用智能控制,使其能夠管理各種晶圓類型和尺寸（200毫米至300毫米）。此外，F300允許用戶借助其精確的閉環電機控制器，精確控制機器人的速度和加速度。該工具可以加工任何質量的基材（拋光、切割、圖案化或塗層），並且能夠容納全部或部分200mm-300mm晶圓。它還提供了廣泛的集成功能，包括可編程晶圓定位、可調速度和防傾斜模塊。其完全集成的設計具有最先進的腔室運輸資產，允許用戶管理腔室位置精度和負載精度，而無需額外的子系統或儀器。ENTEGRIS F300 Autopod還采用晶圓識別技術（Sfoti）.F300 Autopod的另一個駕駛特點是其卓越的安全性。其先進的安全系統確保晶片處理程序在設定的速度和加速度範圍內運行，提供穩定、毫不妥協的工藝性能。使用記錄所有操作的完整數據記錄模型來監控其可靠性和準確性。ENTEGRIS F300 Autopod是尋找相關晶圓處理和處理系統的任何半導體制造設施的重要而可靠的工具。其面向用戶的特性、安全系統和精確性能使其成為業內最佳選擇之一。