二手 ENTEGRIS F300 #293695400 待售
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ENTEGRIS F300是一種先進的晶圓處理設備,旨在提供可靠的芯片制造、封裝和測試操作。該系統利用先進的機器人技術和運動控制技術,允許在工具室之間進行快速、精確的晶圓傳輸。它利用了一個專有的驅動單元,允許晶片的可靠、高速移動,直徑可達200毫米。ENTEGRIS F 300晶片處理程序能夠同時容納多達200個晶片,從而實現高生產作業吞吐量。F300的精密機器人操作精度為正負10微米,可重復性最高。F 300還利用ENTEGRIS反應性清潔功能,減少晶圓傳輸過程中的顆粒數汙染和無汙染處理。它還提供快速啟動和符合人體工程學的機器人手臂設計,方便工具訪問.ENTEGRIS F300是一種靈活的機器,可實現自動晶圓生產、測試和傳輸操作。其用戶友好的界面允許編程晶圓處理命令,並易於與現有晶圓制造系統集成。它的開放式體系結構設計允許根據特定的用戶需求輕松定制。ENTEGRIS F 300的設計采用了適應性強的模塊化基本框架,可以輕松地重新配置以適應其他工具和流程。F300還具有用於晶片傳輸過程中安全抓握的真空夾緊工具,以及用於晶片處理故障的傳感器中斷電路檢測。F 300晶圓處理程序設計具有先進的安全功能,包括超速安全限制和緊急中止門。它還提供了一系列警報和資產診斷功能,提供有關可能的錯誤、故障、泄漏、斷裂晶片等的反饋。最後,ENTEGRIS F300附帶了ENTEGRIS提供的全面服務包,確保始終保持最佳性能。
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