二手 ENTEGRIS KA182-60MB-47C02 #9224930 待售

ENTEGRIS KA182-60MB-47C02
ID: 9224930
晶圓大小: 6"
Wafer transport carriers, 6".
ENTEGRIS KA182-60MB-47C02是ENTEGRIS制造的晶圓處理程序。它旨在提供一種簡單而有效的方法來一致和高效地處理晶片。KA182-60MB-47C02具有一組組件:運輸懸掛組件、晶圓托運人和加工室組件。運輸懸掛組件負責提供晶片從處理器正面到背面的平穩可靠傳輸。它由軌道驅動機構組成,由步進電機驅動,利用精密軸承和滑輪實現精確運動。另外,剪刀升降機用於平穩地提升和降低運輸懸掛組件,而不會對晶片造成任何幹擾。晶片托運人是晶片儲存和運輸到加工室組件的地方。晶片托運人采用真空驅動的卡盤系統,能夠快速方便地裝卸晶片。此外,還采用集成視覺系統對晶片托運人的位置進行監測和調整,以便對晶片進行精確的裝卸。最後,加工室裝配是晶片處理和處理的地方.它包含一個真空室,允許控制過程氣氛,以及各種控制面板和用戶界面,以確保晶片的正確處理。此外,ENTEGRIS獲得專利的專有幹式/幹式處理技術允許無汙染環境。該工藝室組件還具有ENTEGRIS專有的機器人技術,該技術旨在以受控和可靠的方式精確移動、操縱和處理晶片。總體而言,ENTEGRIS KA182-60MB-47C02是一種專業級晶片處理程序,旨在消除精確可靠的晶片處理,使其非常適合需要高度可靠和精確晶片處理的操作。
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