二手 ENTEGRIS KA198-80M #293590956 待售

ENTEGRIS KA198-80M是一種用於半導體制造中的陣列和成像的晶圓處理器。它是一個集成的機器人平臺，設計用於光刻系統。這個晶片處理程序提供了一個多軸配置，最多4個軸和一個雪橇型臂和機械手移動半導體晶片從卡帶到卡帶在順序機器人的方式。KA198-80M的重復性為+80 μ m/單軸,典型電源為80 Amps,穩態速度高達3 m/s。它減少了沈降時間和低輪廓設計,可加快周期時間和提高吞吐量。它配備了一個創新的密封機械臂，防止暴露在腐蝕環境中，確保最高水平的控制，精度和準確性。手臂的升力機構設計為一次傳遞最多八個8吋晶圓。ENTEGRIS KA198-80M采用傾斜旋轉機構構建,並為每個軸配置專用電動機。該電動機能夠支撐高達5公斤的靜態負載和高達6公斤的動態負載。此晶片處理程序的最大傾斜角度為± 4度,這允許目標暴露於晶片上的IC。KA198-80M晶片處理程序利用最新的縫合算法在操作過程中被碰撞時進行快速恢復。高級控制算法使設備能夠快速識別和重新創建晶圓的確切位置,以便快速恢復操作。手臂的低輪廓也消除了障礙物，允許在狹窄的曲線和過道上航行時有間隙。這個晶圓處理程序被設計成集成到廣泛的半導體制造系統和應用中。ENTEGRIS KA198-80M可用於多種過程,包括但不限於半導體制造、測試和表征。該單元易於編程、集成緊湊、操作可靠。KA198-80M晶圓處理程序將被證明是一個有用的工具，用於尋找可靠的高端晶圓處理程序來滿足他們的需求。