二手 ENTEGRIS Ultrapak #55219 待售

ENTEGRIS Ultrapak是一款晶圓處理器，設計用於各種半導體生產和測試應用。它提供了與所有標準晶片尺寸的完全兼容性，並支持卡帶到卡帶和機器人到機器人運輸的各種應用。Ultrapak具有獨特的模塊化設計,可根據特定的過程和產品要求進行調整和配置。晶片被裝入盒式磁帶並放入ENTEGRIS Ultrapak單元，然後由機械臂將盒式磁帶運送到下一個處理步驟。Ultrapak的冗余設計提供了可靠性和維護方面的優勢,同時最大限度地降低了設備故障和汙染的風險。ENTEGRIS Ultrapak可用於新的和現有的工藝設備,並配置為與各種自動化系統配合使用。其內置的多位置真空系統，以較低的操控力和最小的振動提供精確、高速的晶圓傳輸，導致更少的顆粒和模具損壞。此外,Ultrapak還可以配置雙腔室設計,包括運輸機和敏感器,以便能夠從各種晶圓市場進行批量加載和索引。它的機械臂能夠以高精度將晶片定位到處理程序中的任何位置，從而能夠在一個周期內快速定位多個晶片。ENTEGRIS Ultrapak具有最先進的安全功能,可確保操作員的安全並最大程度地減少汙染。它的空氣過濾系統旨在防止汙染物和顆粒進入過程，其屏蔽很容易被去除以進行維護或清潔。此外，其先進的感應系統還能確保晶片的正確加載和定位，以及故障檢測和對晶片未對準的快速響應。Ultrapak設計有許多特定於過程的組件,包括傳輸負載鎖、晶圓加載夾具和晶圓定位器。轉移載荷鎖確保轉移是安全的，並將運輸過程中汙染和產生顆粒的風險降至最低。晶片加載夾具有助於將晶片精確定位到位，並具有獨特的單脈沖加載功能，有助於減少粒子生成。最後,晶圓定位器提供高精度晶圓放置,並有助於確保整個過程中晶圓的足跡均勻。