二手 FANUC 120i #9111893 待售
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FANUC 120i是一種工業晶圓處理機器人設備,設計精確度高。該系統非常適合在包括半導體和微機電系統(MEMS)在內的多個行業中處理晶圓級工藝。120 i晶圓處理程序具有集成設計,包括2軸機械手和5軸功能。5軸運動提供了廣泛的運動,可以精確、自動地處理晶片。集成設計還包括一個可靠的定位組件,可以保證可重復的晶圓處理操作。FANUC 120i的設計尺寸緊湊,占用的地板空間最小。它還具有直觀的用戶界面,允許用戶快速訪問不同的功能。操作員可以定制機器人手臂的速度、加速度和扭矩水平,以最適合所需的操作。120i采用精密制造的不銹鋼框架,設計為耐用性強,能夠承受惡劣的工業環境。機器人臂由五個獨立的馬達組成,這些馬達被密封在一個密閉的腔室中,以獲得更高的定向精度。這也保證了機器人可以以非常小的移動增量進行操作。FANUC 120i還配備了一個攝像頭裝置,用於在該過程中對晶圓進行成像和檢查。利用6點照明機進行質量對比,提供可靠的檢測結果。機器人的進紙器工具可以讓晶片快速加載到機器人手臂上,準確卸載,不會有任何接觸或損壞。120i還包括晶圓旋轉工具,它允許晶圓在垂直或水平位置精確定向,從而確保所有晶圓級操作的精度。該資產包括一個安全傳感器,當機器人手臂感知該區域中的任何物體時,該傳感器將停止操作。這有助於保持操作員的安全,最大限度地降低事故風險。FANUC 120i的設計考慮到了效率和準確性,確保了今後許多年的可靠運行。它是需要精確晶片處理的行業的理想解決方案,能夠提供高效的操作,同時減少所需的停機時間和人工。
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