二手 FANUC 90-30 #191354 待售
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FANUC 90-30是由領先的工業機器人公司FANUC製造的自動化晶圓處理器。它被設計為與各種自動化系統集成,使得用一個設備管理幾個晶圓處理應用程序變得容易。設備由一個底盤、兩個輸送機級(各由多個輸送機臂組成)和一個或多個晶圓載體組成。它被設計成一個非常高效和靈活的系統,能夠處理不同的晶圓大小和數字。傳送帶具有全方位的設計,使它們能夠在所有方向上自由移動。此外,該裝置還包括真空夾持機,允許晶片在載波和輸送機之間快速安全地運輸。該工具能夠以高達800mm/s的速度高速運輸,從而確保高吞吐量。它還配備了強大的吸力臂和可調節的速度元件,以改進敏感晶片材料的處理。資產還具有自動晶圓對準和位置檢測功能,使其能夠識別每個晶圓位置並采取最適當的處理操作。此外,它還配備了灰塵控制系統,確保晶片不受環境影響。90-30是高度可靠和一致的,擁有超過1,000,000小時的MTBF(故障前的平均時間),甚至適合最密集的工業應用。該模型還能夠存儲多達100個程序,從而能夠精確控制其所有操作。除了性能和可靠性,FANUC 90-30還設計了最大的安全性。它配備了緊急停止功能,使其能夠在發生危險情況時被停止,以及獨立的面向部件的清潔和維護系統,以確保所有部件保持清潔。90-30是處理晶圓材料的理想選擇。其創新的設計、高速運輸、自動晶片對準和灰塵控制系統,以及可靠的性能,使其成為任何種類的自動晶片處理應用的理想選擇。
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