二手 FANUC Alpha T14iEe #9244558 待售

FANUC Alpha T14iEe是由領先的機器人公司之一FANUC開發的晶圓處理程序。Alpha T14iEe是一款生產力高、全自動的晶圓處理程序,能夠達到每小時3500個晶圓的速度。該T14iEe具有多級真空機器人、緊湊、自給自足的裝卸站和靈活的板式傳動系統。多級真空機器人設計用於精確的采摘和放置操作。其特點是速度快，放置準確，工作區域延長。緊湊的裝卸站允許較短的周期時間和較高的生產吞吐量。傳輸系統是由板驅動的,包括允許各種托盤格式和尺寸的可調元件。該T14iEe設計用於同時處理3英寸和5英寸晶圓尺寸。機器人可以針對各種配方進行編程，如塗層、烘烤、層壓和旋轉塗層，以及許多其他功能。該T14iEe還能夠與先進的第三方系統集成，以提高效率和過程控制。該T14iEe配備了晶片鎖、位置傳感器、邊緣傳感器和PLC接口等可選功能。晶片鎖通過防止晶片從機器人上滑落，確保了晶片的安全運輸。位置傳感器有助於確保晶片的精確放置。邊緣傳感器檢測晶片邊緣的任何損壞。PLC接口允許與外部PLC（可編程邏輯控制器）進行自動控制和通信。T14iEe始終提供可靠的性能,是晶圓處理需求的理想選擇。機器人還符合SEMI標準，確保其符合行業最高規格的準確性和安全性。T14iEe是高效的，它的緊湊尺寸允許它在狹小的空間。T14iEe具有多功能性、快速、易用性和廣泛的功能,是晶圓處理的強大且可靠的解決方案。