二手 FANUC M-6iB #9111790 待售
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ID: 9111790
Robot system
FANUC R-J3IC controller
i-Pendant (Teach Pendant)
Cables
Axes: 6
Payload: 6 kg
H-Reach: 1373 mm
Repeatability: ±0.08 mm
Robot Mass: 135 kg
Structure: Articulated
Mounting: upright, inverted, wall, angle.
FANUC M-6iB 6軸晶片處理程序是一種先進的處理晶片的機器人解決方案。這款多用途晶圓處理器由FANUC Robotics開發,能夠完成各種晶圓處理任務,如晶圓檢測分選、微電子元件自動組裝、晶圓級封裝等。M-6iB的最大有效載荷容量為3kg,最大工作半徑為600mm。在此範圍內,晶圓處理程序能夠達到並決定各種位置,可重復性為+-0.05mm。它配備了高耐用性、無維護的增強塑料塗層,而其滾珠螺桿驅動機構則在同級中提供了優越的承載能力和加速度。FANUC M-6iB通過其6軸配置為用戶提供了一個通用的運動範圍。第一個軸是高達214度的重復腕部旋轉,而第二個軸是高達210度的俯仰傾斜。線性滑動軸提供高達360 mm的行程,而特殊的旋轉軸允許在單個位置進行360度旋轉。最後兩個軸提供+-225度的乘車角度。在編程方面,這款晶圓處理程序提供Motion Code語言作為一種易於使用的編程方法,以及基於FANUC的高級PC軟件。FANUC ROBOGUIDE模擬和編程環境還允許用戶可視化、模擬和編程晶圓處理程序運動。由於其有效載荷容量、可重復性、運動範圍和易於編程的能力,M-6iB 6軸晶圓處理程序適用於半導體行業的各種應用。其強大的設計和強大的多用途特性使其成為晶圓處理需求的理想選擇。
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