二手 FANUC M16iL #9082132 待售

FANUC M16iL Wafer Handler是一種精密自動化設備,專為處理200 mm和300 mm晶圓而設計。其堅固的結構允許晶片在各種方向上快速、準確地移動,並配備了廣泛的功能,如晶片檢查和對準、單磁帶檢查和多環處理。M16iL由手臂、晶片支架、熱鏈移動設備、XY臺和控制站組成。其最大傳輸速度為140mm/秒，最大加速度7500mm/秒 2。機器的可重復性為+-0.05mm或更小,允許最大2000公斤的移動負載。操控臂由一系列支撐鋁制伺服電機底座的鋁制型材，以及高達150公斤的有效載荷構成。臂通過同步驅動系統運行,確保它能夠有效覆蓋整個晶片。手臂可以配置為旋轉、線性和平移運動，可以在0到190度之間旋轉，允許手臂以弧形運動向上移動整整180度，從晶圓夾具到機器人夾具。晶圓支撐是一種電動滑動基板，將晶圓的大小調整為支架的大小。它的閉環單元和電動機確保它是精確和精確的控制。底板運動由三臺伺服電動機管理，能夠提供多次和重復運動。利用熱鏈路移動機沿著傷口的X和Y軸精確定位晶片。為此，熱鏈路配備了四臺步進電機，確保晶片放置的精度和速度。XY表是晶圓轉換機的中心站。它由四個線性滑軌、兩個伺服電機和兩個控制機器X和Y運動的步進電機組成。FANUC M16iL的XY表可以達到高達30mm/s的速度，允許高速晶圓傳輸。M16iL的控制站是操作員和機器之間的接口。控制站通過流暢的啟動和停止功能、觸摸面板顯示屏和控制機器的10個通道等一系列功能，可以方便操作。最後，FANUC M16iL是一種精密的自動晶片處理機，可處理200 mm和300 mm晶片。它具有廣泛的功能,利用熱鏈接移動,可重復性為0.05mm或更小。它的控制站便於操作,並配備了一系列功能,可確保高效、快速的晶圓傳輸。