二手 FANUC N-61 #9168237 待售
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FANUC N-61 Wafer Handler是專門為半導體和納米技術行業設計的高速、多軸晶圓自動化設備。該系統最多可容納30個晶圓,直徑範圍可達80mm。它配備了功能齊全的圖形用戶界面,便於機器操作,並具有靈活的可編程控制架構和集成的運動控制平臺。N-61 Wafer Handler具有優化的驅動單元,可提供平滑、精確的運動控制,從而減少了空閑時間。該機還具有先進的運動控制平臺,具有較高的數據處理能力,允許快速和精確的晶圓處理。該工具有先進的傳感器和控制算法作為後盾,有助於確保所有自動化過程的準確性和一致性。FANUC N-61 Wafer Handler非常適合處理半導體生產中使用的晶片,如光刻塗層、蝕刻和檢驗。它能夠傳輸、旋轉和定向晶片,同時還提供精確的定位,以及對準和定向功能。此外,資產可以自動化堆叠、加載和卸載晶片的過程,從一個處理機。使用一系列智能伺服電動機,模型可以精確移動和旋轉各種晶圓尺寸,同時將晶圓精確定位在基板上。此外,該設備能夠將晶片沿預定路徑重新定位,以及以高達100毫米/秒的速度進行短移動周期。它具有靈活的布局,允許輕松定制以適合任何應用程序。N-61 Wafer Handler還采用了改進的機器人拾取和放置系統。集成的撥片頭可以快速、準確地從多指卡盤中裝卸晶片,從而消除了昂貴和耗時的操作。該單元還包括各種傳感和安全特性,符合ESD和CE等國際標準,允許機器安全運行。最後,FANUC N-61 Wafer Handler是專門為半導體工業設計的先進工業級工具。它提供靈活的晶圓處理方法,提供快速、準確和精確的運動控制。該資產安全可靠,符合行業標準,是各種晶圓處理應用程序的理想解決方案。
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