二手 FANUC R2000iA 200F #9083596 待售

FANUC R2000iA 200F是專門為半導體應用設計的晶圓處理設備。它結合了業界領先的功能和可定制的選項,以實現快速、準確的晶圓移動和操作。R2000iA 200F包括用於200毫米和300毫米標準晶片的高速、非接觸式和高精度晶片處理系統。它能夠從機器人或通過手動操作垂直和水平加載和卸載晶片。該單元嵌入超高速、非接觸晶圓處理子系統。晶圓處理器采用直線電動機，而不是傳統的電動機，以確保卓越的速度，精度和可靠性。這種非接觸式設計還消除了對固定晶片托盤、法蘭及其相關振動的需求,從而為機器的操作提供了一個幹凈、無塵的環境。除了高速直線電動機外，FANUC R2000iA 200F還利用單波束傳感器位移測量裝置（TDMS）提供高精度絕對位置信息。此信息用於以無錯誤的精度執行晶圓處理操作,並確保晶圓的精確放置,無論是移動、放置還是移除晶圓。晶圓處理子系統與晶圓映射工具結合使用，該工具能夠準確確定可靠的高速晶圓/幀識別所需的所有信息。與其他晶圓處理系統相比，該映射資產利用激光和CCD圖像傳感器生成更詳細的晶圓/幀圖。有了這些信息R2000iA 200F可以從任何方向和任意大小的幀中準確定位和拾取晶片。FANUC R2000iA 200F是一個功能強大、可靠且靈活的晶圓處理解決方案,適用於所有半導體工藝。多個晶圓處理器可以與支援設備，例如清潔和分選機結合，創造出強大的晶圓製造線。R2000iA 200F具有魯棒性和精密性，是處理當今易碎大容量晶片的理想晶片處理模型。