二手 FUJI EC-201 #9289924 待售

FUJI EC-201是專為小型和大型應用而設計的多功能晶圓處理器。它能夠處理直徑達200毫米的晶片，每小時可處理多達200個晶片。該單元由一個晶片裝載機/卸載機單元和一個彼此獨立移動的晶片裝卸頭組成，允許晶片在裝卸和裝卸周期中精確對準。晶片裝載機/卸載機裝置裝有真空輸送的空氣噴嘴和對準的粘膜。此外，一個帶分板裝置的盒式裝載機可用於抓取和移動不同尺寸的大型晶片。晶片處理頭設有真空卡盤，以穩固地扣緊晶片，並提供晶片在處理室中的精確旋轉和定位。內置步進電動機以及用於位置控制的線性編碼器，便於在運輸過程中精確對準和處理晶片。Z軸運動機構允許在運輸方向上有更大的靈活性。EC-201 Wafer Handler配有一個安全系統,用於切割機翼危險空氣,使其無法進入裝卸室,保護晶片免受靜電或異物損壞,並監控真空卡盤以進行正常操作。此外,十六個設置的可編程單元允許在不更換部件的情況下輕松切換和自動完成處理周期。通過為用戶提供可靠高效的運輸系統，FUJI EC-201 Wafer Handler為那些在半導體、微電子和醫療行業中處理晶片的人提供了極大的幫助。晶片處理頭的低噪聲和操控空間的受控環境使其成為機器人晶片處理的理想設備。