二手 GENMARK GB7 #9153705 待售

GENMARK GB7
製造商
GENMARK
模型
GB7
ID: 9153705
Robots P/N: 400397007 965925 5007784/5064340 400397009 4007-970-93.
GENMARK GB7是一種晶片處理程序,設計用於在整個生產過程中管理和運輸半導體晶片。該裝置設計用於晶圓的制造和測試應用,直徑不超過300毫米晶圓。該裝置能夠處理重達22公斤的冷熱晶片。GENMARK GB 7具有高速、四軸笛卡爾機械臂和垂直運輸設備,以減少循環時間,提高吞吐量和生產效率。該裝置能夠精確的晶圓運動,總行程為250 x 400 x 250 mm,可重復性為0.2 mm,速度高達30 mm/sec。手臂利用CCD相機檢測晶片邊緣;以及紅外跟蹤技術,以準確定位臂在原點和晶圓轉移過程中。它可以精確地拾取和放置多達50個晶圓。GB7包括一個獨特的雙「C」機械驅動器。該驅動器具有卓越的晶圓傳輸穩定性,降低了操作過程中的轉速,並減少了噪聲汙染.它包括一個500毫米沖程離子植入器臂真空疏散。手臂以25毫米/秒的高速達到500毫米的全行程。GB 7的其他功能包括集成的碎片防護系統、直觀的用戶界面、用於晶圓裝卸的氣動吸力裝置以及晶圓塞子功能。用戶界面允許設置參數和選擇預置配方以獲得最佳性能。它還允許在必要時實施擴展配方定義。綜合碎片管理機器的設計是為了防止晶圓受到灰塵、汙垢和其他外來顆粒的汙染。氣動吸力工具用於在狹窄的空間內抓握和移動晶片,而晶片塞子則防止晶片在轉移過程中過度移動。GENMARK GB7是一個緊湊可靠的晶片處理程序,為管理半導體晶片的生產提供了一個經濟高效的解決方案。它的精確運動可以在不影響循環時間的情況下實現最佳精度。其直觀的用戶界面和大量的附加功能可確保設備滿足任何高端晶圓生產或測試應用程序的需求。
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