二手 HIRATA HNC-US566-6 #9111398 待售

HIRATA HNC-US566-6是一種機器人晶片處理程序,專為薄晶片的可靠裝卸而設計。它利用高速、高精度的龍門機器人，在加工工具、負載鎖和載流子之間精確地傳遞晶圓。該機器人設計為在1級潔凈室環境中操作，可處理直徑達6英寸的晶片。它配備了一個照相機，跟蹤晶片的進展，並根據晶片的確切位置幫助精確放置晶片。機器人具有三個自由度，可以在x、y和z平面中移動，以進行精確放置和高速移動。它的夾持器可以處理高達0.8mm厚的晶片，這使得它們適合廣泛的應用。此外，它還具有一個自我檢查功能，可以監視其所有組件，並能夠檢測和報告其操作中的錯誤。負載和卸載過程在1級潔凈室環境中進行，在處理過程中盡量減少顆粒汙染。機器人還有一個負載鎖定系統，防止在將晶片從一個工具移動到另一個工具時汙染進入機器人內部。為了保護操作、清潔和安全,它有一個安全聯鎖系統（SIS）來監視機器人的所有動作。HNC-US566-6是一個可靠和高效的晶圓處理程序，適合各種應用。它速度高、精度高、精度高，是潔凈室環境中裝卸晶片的理想解決方案。它的安全功能還確保它在不影響產品或其他組件的情況下運行,從而使其成為可靠且經濟高效的自動化解決方案。