二手 IDE ROB-300 #9298457 待售
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IDE ROB-300晶片處理設備是一種高度自動化的半定制機器人系統,用於自動處理和操作直徑不超過300 mm的晶片。ROB-300提供了潔凈環境中晶片的精確處理。一個雙臂機械手和兩個獨立的Z電機為單元提供精確控制。這些電機負責控制機器人手臂的高度和位置,以及晶圓裝卸過程。機器人手臂本身能夠抓握和處理單個晶片,以及分批。除了機器人手臂之外,機器還包括一個基於輸送機的線性傳遞工具,將晶片從一個位置移動到另一個位置。該資產專為平滑、可重復的運動而設計,使用自定義的線性或弧線根據需要精確定位晶片。IDE ROB-300可以容納各種晶圓裝卸選項。提供手動或自動(通過可編程軟件)加載/卸載選項,使模型能夠適應客戶的特定需求。手動加載/卸載是通過精確的手動卡盤執行的,該卡盤對正在處理的每個晶片施加低力夾緊。自動加載/卸載是使用氣動夾具裝載機/卸載機執行的,該裝載機/卸載機將晶片送入/從機器人臂送入。該設備旨在提供靈活性和對晶片處理過程的完全控制,包括對齊、放置和定向。氣動部件的使用確保了整個操作過程中可靠和可重復的準確性。使用數字控制面板監視和控制所有與晶圓相關的操作。ROB-300系統設計方便訪問和維護。該單元還配備了一個安全機器,以防止由於部件處理不當而造成的任何潛在事故。它具有半可定制的設計和可靠性,使其成為希望在清潔室環境中實現晶圓處理過程自動化的公司的理想選擇。IDE ROB-300工具具有靈活性和精密控制能力,非常適合處理和操作直徑達300 mm的各種晶片。
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