二手 ILHOTECH ITAL-500 #9392926 待售

ILHOTECH ITAL-500是一種高精度晶片處理設備，設計用於通過多種半導體器件制造步驟處理復合半導體晶片。該系統具有真空機器人臂，可在多個工作站之間提升和轉移直徑可達150毫米的晶片。該臂可以精確定位晶片，同時提供半導體加工過程中必需的完全幹燥的環境。該單元的關鍵部件是機器人手臂、模具夾具和控制機器人運動的微型驅動機。機器人臂被設計為適合任何標準的100 mm或150 mm半導體轉運站，使其能夠處理幾乎任何類型的晶圓材料，包括氧化物、多晶矽、砷化氙和的-矽基板。此外，機器人手臂被設計為與任何自動裝卸站或工具兼容。ITAL-500的基座是一個工業級的，堅固的框架，即使在高重量和振動下也能提供穩定性。基地有一個加固的可移動平臺，使資產能夠提供更廣泛的移動，同時也支持高精度的運動。該模型還利用了高精度和可靠的Delta Drive微驅動器單元，從而實現了工具的高速、精確和可重復定位。該晶片處理程序的模具夾具旨在為加工工具提供一個安全的平臺，以及用於傳輸和抓握晶片的真空連接。夾具還具有快速更換的工具機制,可方便、直截了當地交換工具。模具夾具還配備了觸控傳感器，用於晶片在水平和垂直方向上的高精度對準。ILHOTECH ITAL-500的其他特點包括用於檢測晶圓方向和邊緣位置的集成視覺設備、基於配方的全自動流程以及基於Web的綜合監控系統。該單元設計為操作和維護簡單，在制造過程的不同階段之間提供完整的進程間通信。而且，ITAL-500符合半導體制造工藝的安全標準。總體而言，ILHOTECH ITAL-500是一種有效可靠的晶圓加工機，旨在滿足半導體行業的需求。它為半導體晶片的高產加工提供了精確、可重復的加工工具運動。其全面的設計實現了高精度和快速的晶片處理，使其適合廣泛的生產需求。