二手 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 #9007852 待售

INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300是在真空和超高真空環境中處理敏感材料的高性能設備。它專為完全可定制的配置而設計,具有內置晶圓處理功能,可用於開發、原型設計和晶圓稀釋中的應用。該系統能夠在低真空到近真空的條件下安全地操作小型基片。它也是需要精確處理晶片而不汙染環境的研究應用的理想選擇。SPA-300使用雙軸、全步進電機驅動的運動單元運行,為用戶提供對x軸和y軸行程的完全控制。運動機提供晶片基板的平滑精確定位，最小重復精度為0.04毫米。該裝置具有軟啟動/停止控制和高動態抽動控制功能，可進一步降低晶圓損壞的幾率。此外，在工具中內置了防撞機構，以保護基板在運動中免受意外撞擊。INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300的核心是先進的真空反饋資產,它使用外部傳感器監控模型中的真空級別。該設備可以檢測和監測真空的存在，其溫度低至10-5 Torr，並相應地控制晶圓的處理速度和運動。該系統確保真空水平保持在設定的範圍內，並確保晶圓器件以最精確的方式處理。SPA-300還設計了真空工藝集成能力。這包括一個自動真空傳感器校準單元，允許用戶為每個單獨的工藝步驟設置最佳真空水平。再者，該機可加裝介電泵，進一步支持其真空要求。最後,INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300配備了多種安全功能來保護晶片.這些安全功能包括內置的緊急空氣中斷、全封閉的安全聯鎖開關以及冗余的緊急停止按鈕。所有這些特性確保即使發生事故，所有晶片都保持安全。總體而言，SPA-300是一種非常先進和可靠的晶圓處理工具，用於復雜的真空過程。它提供了前所未有的安全性和對晶片處理的控制，以及可重復和準確的結果。憑借其獨特的設計和直觀的功能,此資產可幫助用戶實現其對尖端應用程序的期望結果。