二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #185015 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000是一種晶圓處理器機器人設備，設計用於為各種半導體制造工藝提供自動運動控制、晶圓傳輸和數據采集。該系統由基礎結構和晶圓臂兩個主要組成。底座結構由鋁制框架和電力機架組成，為整個單元提供了平臺。這旨在為整臺機器提供最大的穩定性。基地配有全配電工具和冗余氣動資產，為機器人的運行提供可靠、安全的環境。此外，堿基結構被設計為與大多數標準離子植入器兼容。晶圓臂設計用於晶圓的高度自動化和精確定位。它是一種計算機控制、精密控制、6軸機械臂，最大可達800毫米。手臂能夠在將晶片從一個腔室移動到另一個腔室的同時執行重復性、準確性和速度要求。IRVINE OPTICAL APS 2000配備了直觀的圖形用戶界面（GUI），提供易於遵循的說明。這包括多功能的運動控制功能,以提高產品質量和速度。此外,該模型還提供了廣泛的數據采集和報告功能,從而提高了產品質量保證。設備配備了幾個安全功能，包括壓力傳感器、限位開關和基於軟件的安全功能。這樣可以確保機器人在發生故障時不會傷害人員或組件。機器人還設計為通過嚴格的安全測試，包括UL認證。總體而言,BROOKS AUTOMATION APS-2000旨在為各種半導體制造過程提供更好的過程控制、可重復性和更高的安全性。它具有堅固的基礎結構、直觀的GUI、多用途的運動控制功能以及擴展範圍的先進晶圓臂。它的安全功能有助於保護人員和組件免受故障的影響,並通過其UL認證,確保您的操作符合必要的安全標準。