二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #293748039 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000是一種晶圓處理程序，旨在使半導體制造設施中半導體晶圓的裝卸過程自動化。該處理程序能夠以高精度和高速度傳輸、檢索和定位多個晶片。它有一個四級晶片滑道，加上一個集線器區域，有一個或兩個機械臂，可以達到6英寸。機械臂能夠運輸直徑達472mm的晶片，每小時可處理多達30個晶片。機器人臂由精密伺服電機提供動力，機器人組件設計有助於確保晶片的精確放置和精確平移。IRVINE OPTICAL APS 2000的兩個主要部件是其晶圓槽和機器人裝配。前者的設計目的是在晶片從加工的一個階段移動到另一個階段時安全地運輸和儲存晶片。它由四個級組成，每個級都設計用於處理不同類型的晶片如BT摻雜或FT熔融晶片。各階段相互連接,以確保整個過程的平穩移動。BROOKS AUTOMATION APS-2000的機械組件由兩個機械臂和一個集線器區域組成。這些臂可以達到6英寸，可以精確定位晶片到0.2微米以下。集線器區域配有負載端口，用於晶圓的平穩傳輸，並利用先進的視覺系統確保精確對準。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS-2000采用直觀的用戶界面設計,因此操作員可以輕松管理整個過程。界面可以與各種軟件程序和自動化系統集成，以幫助簡化生產流程。此外,該單元還設計用於易於維護和清潔,具有可移動的蓋板、可打開以進入內部組件的蓋板以及工具可訪問性。APS-2000旨在提高晶圓處理過程的準確性、靈活性和效率。憑借其卓越的操控能力、擴展的機器人覆蓋範圍、精確的對準能力以及用戶友好的界面，這款晶圓處理程序是一款適合大規模半導體制造操作的解決方案。