二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9160691 待售

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT是一種自動化晶片處理程序,旨在為晶片處理提供精確的自動化和高吞吐量。IRVINE OPTICAL APS 2XT是一種全自動晶圓傳輸設備,可輕松與各種工具和過程集成。BROOKS AUTOMATION APS 2XT旨在減少延遲和限制人為錯誤,同時提供全過程自動化、靈活性和可擴展性。它配備了晶圓存儲、加工、處理和幹燥的多種選項,所有這些選項都可以根據客戶的個別應用需求進行定制。APS 2XT能夠處理直徑200毫米、300毫米和400毫米的晶圓，最大速度為每小時120個晶圓，簡化了整個過程。此外，該系統能夠區分不同直徑和厚度的晶片。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATATION APS 2XT可用於一系列晶圓加工應用，如薄膜和厚膜沈積、蝕刻、變薄、切塊和研磨、晶圓烘烤和測試。此外,機器還可以配置各種不同的泵和附件,如背壓調節器、閥門和容器填充器,以及可選的集成計量系統。IRVINE OPTICAL APS 2XT易於使用,需要最少的操作員幹預。該設備的觸摸屏用戶界面提供實時反饋,允許用戶在過程進行時監視和跟蹤過程。此外，機器的優化軟件可以用來識別和調整任何操作參數，以優化過程。為了確保可靠性和可重復的性能,BROOKS AUTOMATION APS 2XT具有許多功能。這些特點包括運動控制元件和真空系統，以及為承受24/7操作的嚴酷而建造的堅固機械設計。該機出色的機械設計也降低了振動和噪音水平，使其適合清潔室操作。最後，該機配備了方便出入的門和自動化甲板，便於檢查和維護。總體而言，APS 2XT為晶片處理應用提供了可靠、通用的晶片處理程序。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XT結合了精密自動化、高吞吐量和易於使用的控制系統,為任何處理環境提供了寶貴的補充。