二手 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 408 #293601071 待售
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IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 408晶圓處理器是一種自動化晶圓處理設備,設計用於傳輸半導體和MEMS行業中的晶圓。它能夠將晶片從直徑達67mm的較大盒式磁帶以及其他各種小零件中轉移出去。該系統是為高性能而設計的,通過小巧的模塊化設計提供高效和安全的晶圓運輸和處理。IRVINE OPTICAL APS 408 Wafer Handler的主要部件包括一個收集站、一個對準單元、一個拾取和放置模塊以及一個轉接單元。收集站用於將晶片從較大的盒式載波定向和移動到BROOKS AUTOMATION APS 408。它有一個FOUP式的裝貨穿梭機,可以精確裝卸晶圓和零件。晶圓對齊機有助於在拾取和放置操作之前精確地將晶圓居中。該裝置利用兩個照相機和光學對準標記來定位和定向晶片。它也有一個可調的寬度提供快速和精確的晶圓對準。拾取和放置模塊用於將晶圓從對準工具精確傳輸到傳輸單元的模具板。這是使用帶有端效應器的方形沖壓桿完成的。它還具有Z傳感器功能,允許對同一晶圓進行多次處理。最後,轉移單元用於將晶片運輸到目的地。它有一個獨特的,可調銷模具板,以容納晶圓和皮帶傳輸資產。該模型有助於確保在運輸過程中準確放置晶片,減少真空損失,並通過在搬運過程中提供清潔空氣幫助減少汙染。除主要組件外,APS 408還包括一個用戶友好的圖形界面,便於配置和操作設備。它還具有內置的安全功能,例如過溫和過流保護。此外,它還可以與其他各種自動化系統配合使用,使其成為適用於各種應用程序的經濟高效且可擴展的解決方案。總體而言,IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 408晶圓處理程序是一個高效可靠的自動化系統,旨在傳輸晶圓和其他小零件。它專為精確的對齊和拾取操作而設計,其模塊化設計使其具有很高的適應性和經濟效益。因此,它是滿足許多半導體和MEMS生產需求的理想解決方案。
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