二手 JEL GHR4180-280-PM-02931 #9111139 待售

JEL GHR4180-280-PM-02931
ID: 9111139
Robot P/N: 10308117.
JEL GHR4180-280-PM-02931晶片處理程序是一種用於半導體生產的最先進的自動化工具。它旨在在支持高速生產和提高產品產量的同時,實現大基板(如3英寸、4英寸和6英寸晶圓)的高精度運動。JEL GHR 4180-280-PM-02931采用模塊化概念設計,可輕松擴展其應用程序以滿足客戶的要求。它有一個內室和外室,室內有一個壓力傳感器。內室容納八(8)個晶圓級,一次最多可接受8個基板,或一個直徑最大8英寸的大單基板。GHR4180-280-PM-02931可以移動基板高達10mm/s,它包括雙線性電動機以實現單向和可逆運動。它配有減少靜電放電的電離器,以及用於精確定位的CCD視覺系統。其集成控制系統采用編碼器和傳感器,為精確運動和晶圓處理提供準確的位置反饋。除了晶片級之外,GHR 4180-280-PM-02931還包括真空卡盤臺、升降機構,以及易於調整以適合任何基板尺寸的傾斜臺。提升和降低機構允許將晶片精確放置在基板表面的10微米範圍內,而傾斜臺則允許微調傾斜角度。JEL GHR4180-280-PM-02931配備了用戶友好的軟件,可方便操作和定制可編程性。它可以用於各種自動化生產線以及人工批量作業。該工具設計為與廣泛的外圍設備連接,包括機器人、晶圓對準系統和其他晶圓處理系統。總體而言,JEL GHR 4180-280-PM-02931是為自動化半導體生產而設計的最先進的晶圓處理器。它可以處理直徑最大為8英寸的大型基板,並配有雙線電動機、電離器、視覺系統以及用於微調傾斜角度的傾斜臺等先進特性。其用戶友好的軟件使其易於與外圍設備集成,並允許定制的可編程性以滿足用戶的確切要求。
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