二手 JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L #9259819 待售

JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L是專為處理精細半導體晶圓而設計的高精度晶圓處理器。它配備了先進的線性定位器，以確保在處理過程中晶圓的精確對準。該定位器與一個控制單元連接，以確保定位器運動的高精度。SLR 200 LPTS/L具有三個獨立的運動軸（X, Y, R）,以便在處理任何大小和形狀的晶片時具有最大的靈活性。X軸可以將晶片從135mm移動到270mm，Y軸可以將晶片從165mm移動到280mm，而R軸可以將晶片從375°移動到無窮小度旋轉。SLR 200 LPTS/L能夠處理廣泛的基板，包括所有等級的矽、SiGe、GaAs等材料。它支持任何大小和形狀的晶片，直徑從200毫米到330mm。此外，它能夠執行從清潔和除渣到蝕刻和拋光的各種過程。它還能夠執行復雜的晶圓檢查和計量任務。SLR 200還具有全面的安全功能,例如處理過程中的晶圓檢測和檢測任何潛在損壞的警報機制。SLR 200 LPTS/L配備了一個復雜的軟件包,具有用於擴展測試流程、流程模式調度、自動測試序列和其他高級功能的軟件協議。軟件包還可以從任何位置遠程控制和監視機器。總體而言，JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L是一款高精度晶圓處理器，設計用於半導體行業不同基板的高精度處理和自動化處理。其先進的線性定位器、膨脹的運動範圍、全面的安全特性和精密的軟件包使其特別適合各種晶圓處理任務。