二手 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643260 待售
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KAWASAKI 30C63E-A003是Wafer Handler,專為高精度和可靠的性能而設計。它是專門為半導體工業而設計的。30C63E-A003具有雙機器人手臂設計,能夠將晶圓盒式磁帶移入和移出主加工室。機器人手臂可以檢測和抓取正確的卡帶,消除人為錯誤,提供更高的準確性和可靠性。川崎30C63E-A003配備了可靠的真空晶片吸力設備,有助於確保晶片不會因處理不當而受損。這種晶圓吸力系統也獨立於機器人手臂,可以讓用戶在不使用機器人手臂的情況下進行單獨的晶圓操作。30C63E-A003包含一個先進的石墨板輸送機單元,它充當晶圓和機器人臂之間的非滑動層。石墨片也減少了對晶片的傷害。傳送機戰略性地放置在晶片盒式裝載機和閘閥之間的通道空間內,允許幾個晶片一次處理。KAWASAKI 30C63E-A003旨在提供方便的訪問和操作。機器人手臂可以調整到所需的位置進行精確的拾取和放置,這可以通過手臂的簡單旋轉來快速調整。此外,機器人手臂可以左右移動,也可以上下移動。而該單元可以附著在平坦的表面上,以獲得更大的穩定性。30C63E-A003的前端有一個手動閘閥,用於控制進入主腔室,為插入和移除晶片提供快速和方便的訪問。該閘閥通過機械驅動單元和電子控制器操作。此外,閘閥還配備了溫度測量裝置,以確保安全的工作溫度。KAWASAKI 30C63E-A003還包括一個有效的冷卻工具來管理加工晶片時產生的熱量。冷卻設備將空氣循環通過晶圓室,以防止內部組件過熱,同時也防止外殼內部任何凝結堆積。30C63E-A003是一種可靠、高精度的晶片處理程序,旨在自動完成半導體行業中處理晶片的困難和耗時任務。該單元采用雙機器人手臂設計;可靠的真空晶片吸力模型;石墨板輸送機設備;以及易於操作的閘閥。此外,KAWASAKI 30C63E-A003還設有冷卻系統,用於管理晶圓加工時產生的熱量。
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