二手 KAWASAKI TS220-D511S #9088881 待售

ID: 9088881
Robots for DNS / DAINIPPON SK-2000.
KAWASAKI TS220-D511S晶片處理機是一種批量生產的設備,設計用於精確可靠地傳輸、旋轉和檢查多達8 ″的易碎半導體晶片。采用的精細平衡和堅固的機制可確保高通量,對敏感晶片的損害最小,並且在整個周期中保持高度精確和一致的對齊。TS220-D511S由幾個模塊組成,包括主處理器、旋轉器、輸送機和積木單元。主處理器單元具有一個控制器,該控制器處理從旋轉器、輸送機和儲物櫃單元接收到的信號,以控制晶片在不同組件之間的傳輸,並允許即時進行調整。轉子單元采用高扭矩無刷電動機來精確旋轉晶片,以達到傳統步進電動機無法達到的旋轉精度水平。輸送機采用吸力和自由落體技術相結合,以確保晶片的持續平穩運動,運動的平順性在整個過程中達到令人印象深刻的精度水平。Stocker單元是一個高度可靠且符合要求的單元,其設計可安全地容納多達65個8 ″晶片以及幾個較小的晶片。KAWASAKI TS220-D511S設計為可靠高效運行,晶圓傳輸定位精度達到1 μ m,旋轉精度達到0.02°,晶圓處理時間達到10 ms。它還有一個內置的視覺系統,允許自動晶圓檢查,提高吞吐量和消除過程中的缺陷。此外,還采用了事件驅動的獨立操作單元,以確保機器的平穩可靠運行。TS220-D511S的其他功能包括通過內置診斷提供維護支持、自動通知更換部件、通過PC進行安全編程以及對過程參數進行全面跟蹤,所有這些都有助於提高效率並確保最佳操作和產品質量。最重要的是,川崎TS220-D511S的設計既負擔得起,又易於維護,為滿足半導體行業的需求提供了可靠和經濟的解決方案。大量的附加功能使TS220-D511S成為一個有吸引力的批量生產機器,用於要求苛刻的半導體生產過程。
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