二手 KENSINGTON Equinox #81777 待售

KENSINGTON Equinox是一款高精度晶圓處理程序，設計用於半導體行業高效、經濟高效的操作。該設備配備了一個專利地形為基礎的晶片抓握機構，使準確和穩定的基板處理。該系統還具有很高的可靠性和可定制性,允許用戶修改關鍵組件,如傳輸套件、彎曲皮帶、傳送帶和卡盤-從而最大限度地提高效率並允許精確處理各種晶圓尺寸和形狀。該單元有三個主要組件-控制櫃、上層模塊和晶圓零定位器。控制櫃包含一個工業PC、PLC和HMI工作站,這些工作站通過CANopen通信連接,並允許高效的設置和編程。上級模組位於上臂，負責轉移和抓握基板。它由線性傳動級、旋轉伺服和晶圓夾具組成。晶圓零定位器是決定基板精確取向的集成組件，允許精確的晶圓處理，不存在刮擦或其他損壞的風險。此外,Equinox還提供了廣泛的特性和功能。其內置的真空預粘合泵可實現高精度處理。真空預粘合泵還具有自動調節和表面溫度監測機，可確保精確和溫度控制的粘合和定位。此外，這一工具有一個綜合視覺資產，可以精確檢測底物。高速精確運行是KENSINGTON Equinox的關鍵優勢。該模型具有先進的輪廓從動函數,可確保晶片在表面上的平穩快速移動而不會造成任何損壞,從而提供強大的過程控制和節省成本的好處。所有這些功能都設計為提供高性能,並具有最大的準確性、可靠性和成本效益。總體而言，Equinox是一款高度先進和可靠的晶圓處理程序，適用於各種半導體制造工藝，能夠提供高度精確、無損壞和經濟高效的基板處理。