二手 KLA / TENCOR Phoenix D 1.2 #9285868 待售

KLA Phoenix D 1.2是一款專為前端半導體加工而設計的高性能晶圓處理器。Phoenix D 1.2具有廣泛的自動化功能,使其能夠作為一個完整的獨立設備,能夠管理晶圓處理的各個方面。它設計用於處理多種基板，如矽、結晶石英和矽在絕緣體（SOI）上。Phoenix D 1.2具有重型車架，設計用於在晶圓處理過程中提供穩定性和支撐。它采用自動冰球運輸系統，為晶圓冰球從一個運輸站到另一個運輸站提供高效、準確的移動。該裝置有助於最大限度地減少手動處理造成的汙染風險，並確保晶圓位置在運輸過程中的準確性。它還有一個集成的真空機，幫助安全和安全地將單個晶片從存儲吊艙轉移到加工站。Phoenix D 1.2還包括先進的運動控制能力，允許它在運輸過程中精確旋轉和傾斜每個晶片。它有兩個真空吊艙，每個吊艙最多可容納三個晶片，最大速度為每秒8.3英寸，允許快速準確的晶片處理。Phoenix D 1.2支持廣泛的接口，以方便與其他晶圓處理系統和儀器的通信。它有幾個用於連接外部設備的輸入/輸出端口,包括USB端口、RS-232端口、以太網端口和模擬端口。Phoenix D 1.2還包括高級軟件，用於控制晶圓處理過程的各個方面，包括運動控制、溫度控制和設備之間的通信。Phoenix D 1.2符合SEMI標準，包括晶圓處理系統的SEMI E77和工藝設備接口的SEMI C85。這樣可以確保高度的可靠性、過程一致性以及與其他晶圓處理系統和儀器的兼容性。總體而言，TENCOR Phoenix D 1.2是一款高性能晶圓處理程序，旨在提供高效、準確、可靠的晶圓處理。其廣泛的自動化功能以及符合SEMI標準,使其成為前端半導體處理的理想選擇。