二手 KLA / TENCOR Phoenix DA2 #9285836 待售

ID: 9285836
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Load port, 12" 2005 vintage.
KLA/TENCOR Phoenix DA2是為晶圓制造過程自動化而設計的晶圓處理程序。KLA Phoenix DA2設備由幾個部件組成,包括一個轉移室、一個樣本室、一個盒式盒室、一個預對齊室、一個精細對齊室、兩個分離室和一個端效應器。轉移室用於在系統的各個腔室之間移動晶片,而樣品腔室則用於制造樣品,而盒式腔室則用於存儲經過處理的晶片。預對準室用於在晶片進入轉移室之前對其進行檢查,而精細對準室則用於對晶片進行更精確的檢查。兩個分割腔用於將晶片分成兩個獨立的部分或兩個半部分,而端效應器則用於加載和卸載晶片。TENCOR Phoenix DA2設備能夠在整個生產過程中自動檢測和糾正晶片的錯位。它能夠執行各種任務,包括掃描、清潔、分類、放置、探測和修剪。該機設計為為各種尺寸和厚度的晶片提供精確的對準,可以為不同的任務配備多種模具。此外,Phoenix DA2與各種軟件包兼容,可以定制以滿足用戶的特定需求。KLA/TENCOR Phoenix DA2工具非常可靠,擁有成本低。與其他系統相比,它具有較高的吞吐量、較低的汙染風險和較小的占地面積。該資產設計為易於使用,包括用戶友好的圖形用戶界面、對手動控制的支持以及各種可編程功能。此外,該模型還具有許多安全功能,例如自動故障檢測和恢復。總體而言,KLA Phoenix DA2是一款先進可靠的晶圓處理器,專為制造過程的自動化而設計。它提供了較高的吞吐量、較低的擁有成本以及比其他系統更小的占地面積,因此適合各種制造過程。此外,該設備還配備了多種安全功能,並具有多種可編程功能,以滿足用戶的特定需求。
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