二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX C2C #293646053 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX C2C是一種晶圓處理器，旨在方便半導體工業的晶圓製造過程。這種先進的機器人工具支持小型化的占用空間,並具有模塊化設計,可提供靈活性和可擴展性來處理各種晶圓大小和類型。KLA C2C旨在滿足半導體制造中的關鍵需求,例如準確的工藝重復性和更高的吞吐量。TENCOR C2C設備包括一系列組件，如機器人、機器人控制系統、工藝頭、控制器和氣動。機器人為6軸、多軸鉸接機器人手臂，每個軸由多個無刷伺服電機驅動，用於精確定位和控制。機器人控制單元由多種處理能力計算模塊和控制模塊組成，便於提高控制精度。機器人控制器在自動化操作上運行自定義算法，以促進更一致的結果和更高的吞吐量。加工頭包括通過加工序列傳送單個晶片的多個頭。高精度氣動保證了工藝頭的精確和可重復運動，支持單個晶片的可重復處理。PROMETRIX C2C晶圓處理程序旨在為用戶提供多種自動化特性和功能。這包括一次處理多個晶圓的能力，使用多個進程頭的組合，以及將晶圓卸載和移動到一個或多個目的地的能力。C2C還具有自動索引功能,可保持晶圓的精確處理,同時保護晶圓免受熱沖擊、灰塵和汙染。除了KLA/TENCOR/PROMETRIX C2C高效的處理流程外,它還提供了整個周期內準確的流程可重復性。這確保了生產產出始終可靠，從而有助於保持成本效益和盈利能力。此外,KLA C2C的自定義用戶界面還提供了一系列流程設置,用於自定義自動化流程的控制。這個全面的軟件套件可以滿足簡單和復雜的晶圓處理需求。它還為用戶提供了一個全面的機器監控模塊，幫助跟蹤自動化過程的進度和工具性能評估。此功能還支持資產的維護和故障排除操作。總體而言，TENCOR C2C晶圓處理器是一種先進的機器人工具，旨在滿足半導體晶圓制造工藝的要求。PROMETRIX C2C提供精確且可重復的流程可重復性和更高的吞吐量,使其成為高效且經濟高效的自動化解決方案。