二手 KOBELCO / LEO LRW #293642528 待售
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KOBELCO/LEO LRW是一種晶圓處理程序,設計用於運輸、跟蹤和測試各種半導體晶圓。它是一種完全自動化的解決方案,可輕松地與現有的半導體制造工藝集成在一起。LEO LRW包括一個高精度的稱重和處理設備,精確到+/-0.3毫克,能夠容納尺寸和重量範圍的晶圓。該系統設計用於處理高達254個晶圓的批量大小,以及高容量/高混合生產運行中的高密度晶圓。晶圓處理程序還具有高速機器人裝置,最大處理速度為70毫米/秒。這臺機器的設計目的是在將維護成本降至最低的同時最大限度地提高生產率,並配有激光傳感器以確保精確和可重復運行。KOBELCO LRW還配備了一系列安全功能,以確保人員和設備的安全。其中包括兩個單獨的極限開關來檢測對晶圓的任何潛在損害,以及一個雙區域緩沖區來降低晶圓斷裂的風險。除了晶圓處理,LRW能夠進行精度測試和質量控制檢查。它可以測量晶片的各種特性,如反射率、吞吐率和其他參數。這樣就可以生產更高質量的晶片並更好地控制制造過程。KOBELCO/LEO LRW還包括一個在線監控工具,可以使用Web瀏覽器從任何遠程位置監控進程的狀態,並且配備了遠程報警資產,可以在發生任何錯誤時提醒操作員。總體而言,LEO LRW是一種先進高效的模型,旨在滿足半導體行業的需求。此晶片處理程序具有廣泛的功能,包括稱重和手柄系統、機器人技術、質量測試和遠程監控功能,能夠精確地處理每一項處理要求。
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