二手 LAM RESEARCH 002-0016-04 #293669986 待售

ID: 293669986
晶圓大小: 8"
Armset, 8".
LAM RESEARCH 002-0016-04是一款多功能晶片自動化處理程序,旨在支持單晶片和多晶片工藝,以實現200mm晶片的高通量和可靠處理。該設備設計有介電壁、顆粒過濾再循環/通風口、易於進入的端口和可拆卸的晶圓托盤,從而大大減少了空氣中的微粒,有助於保護工件和工具的完整性。002-0016-04處理器設計為在廣泛的溫度範圍內提供高速、精確且可重復的運動。它配備了一系列的傳感器和運動控制器,用於精度、速度和可重復性。它還具有用於功率和速度的高電機扭矩系統、可編程的用戶界面以及直觀的操作單元,以確保易於使用。對於需要潔凈室環境的應用,LAM RESEARCH 002-0016-04處理程序采用空氣過濾、顆粒和溫度監測、濕度控制3個階段,以確保產品的完整性和均勻性。這臺機器還可以容納各種各樣的刀具格式和晶圓尺寸,使用戶能夠優化其工藝,以實現最大的靈活性和成本效益。該工具提供了在從室溫到300攝氏度的各種工作環境中在各種溫度範圍內操縱晶片的能力。它還能夠支持需要多個晶圓配置和傳輸的進程。該資產通過高精度運動控制器和基於編碼器的模型為所有晶片傳輸提供一致的精度和可重復性,以實現每次的完美對齊。002-0016-04處理程序配備了多種增強用戶體驗的技術。它結合了高速相機系統,以實現檢查、定位和對準能力。它還具有可編程邏輯控制器,允許用戶輕松編程參數,以實現快速高效的晶圓處理。LAM RESEARCH 002-0016-04處理程序旨在提供安全可靠的工作場所。它配備了氣流保護技術,以消除空氣中顆粒汙染的風險,同時在操作過程中保護人員。此外,它還包括各種安全功能,使用戶能夠安全地操作設備。002-0016-04晶圓處理程序是各種多晶圓和單晶圓工藝應用的完美工具。它可靠、精確、可重復,是半導體行業中任何需要可靠晶圓處理系統的人的理想選擇。
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