二手 MACTRONIX Eureka 450 #9124006 待售

ID: 9124006
E-Bar wafer transfer systems.
MACTRONIX Eureka 450是一款最先進的晶圓處理程序,旨在通過靈活的自動化功能高效處理直徑達450 mm和0.1 mm厚的基板。該型號配備了由兩組伺服驅動馬達組成的精密運動設備,這些馬達允許各種基板處理功能。為確保高精度和可重復性能,將電動機同步到由高級數字伺服輪廓控制的單個系統中。這個復雜的運動單元還能夠在X-Y-Z軸中定位基板,以及校準位置偏移。尤裏卡450配備了集成線性傳輸和自動對焦掃描儀、多位置重基板表、模塊化晶圓分選機等幾個獨特功能。內置的線性傳輸可以實現基板的精確和快速路由。自動對焦掃描儀根據基板的位置調整鏡頭對焦,並允許機器快速捕獲基板的圖像。多位重基板臺最多可支撐20公斤重量,可一次攜帶9英寸晶圓。最後,模塊化晶片分選機內置了索引機制,在不同的基材尺寸之間快速排序。MACTRONIX Eureka 450還配備了幾種自動化功能,使晶圓處理更容易、更快。例如,處理程序可以自動檢測任何基板未對齊,以及測量間隙和高度信息以檢測任何劃痕或缺陷。此模型還具有自動邊緣檢測和拒絕超出規格的基板的能力。此外,Eureka 450還可以為真空通道和閘閥事件提供自動化,例如準備用於傳輸的負載基板,以減少復雜的手動操作。MACTRONIX Eureka 450是一款先進的晶圓處理程序,能夠執行各種精確的基板處理操作。它的精密運動工具和額外的自動化功能使尤裏卡450成為任何工廠車間的絕佳選擇。
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