二手 MACTRONIX Eureka UKA-825 #52725 待售

ID: 52725
晶圓大小: 8"
Auto wafer transfer system, 8".
MACTRONIX Eureka UKA-825晶片處理程序是一種全自動設備,可精確處理直徑不超過8英寸的半導體晶片。它將晶片精確安全地放入多層托盤或FOUP類型的自動盒式磁帶中。該處理程序使用Envirotech直接驅動器拾取和放置模塊(DPPM)訪問和運輸晶片,並對晶片進行嚴格的處理,如照明測試、化學氣相沈積或化學處理。Eureka UKA-825的精確、運動控制設備經過精心設計,可提供出色的重復性和低公差性能。其軸運動由高精度、無刷直流伺服電機提供動力。先進的梯形傳感系統和閉環位置反饋提供動態重復性和最大的過程安全性。MACTRONIX Eureka UKA-825針對超精確、可重復的晶圓處理進行了優化。鉸接機器人手臂配有堅固的懸臂,可以將晶片插入和提取到最深的托盤和自動盒式磁帶中。其多層真空拾取機構和葉片邊緣輸送作用可防止在操作過程中刮擦。Eureka UKA-825采用緊湊、節省空間的占地面積,便於快速輕松地集成到任何半導體處理套件中。高度直觀、基於Web的圖形用戶界面(GUI)具有實時流程信息、關鍵參數審查和徹底的可追蹤性。GUI還使用戶能夠開發自定義配方並執行錯誤恢復和預防性維護。MACTRONIX Eureka UKA-825的設計非常可靠和安全。一個完整的外殼防止外部汙染物和偏轉危險的排出氣體。許多復雜的安全機制進一步保護硬件,如雙鎖安全互鎖單元、緊急停止、點對點電源關閉、電機過載保護和故障安全指示燈。簡而言之,尤裏卡UKA-825晶片處理機是一種下一代晶片處理機,針對需要高精度、重復性和安全性的半導體加工應用進行了優化。憑借其先進的功能、堅固的結構和改進的流程可持續性,它能夠實現當今市場上的最高質量標準。
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