二手 MACTRONIX SWR-600 #9188737 待售
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MACTRONIX SWR-600晶圓處理器是一種工業級、自動化、精密的等離子體加工設備,用於半導體制造業。該系統設計用於水平放置,並配有一個多晶圓傳輸托盤,專門為加載600 mm晶圓而設計。它可以接受不同尺寸和類型的晶片,包括125毫米、200毫米、300毫米和600mm。該單元采用全金屬結構,粉末塗層耐用。SWR-600晶片處理程序具有樞轉晶片托盤,該托盤允許加載或卸載晶片,而無需旋轉托盤。它設計為在處理晶片時精確、溫和、可靠,以確保在處理過程中不會損壞。此外,它還帶有一個可編程定序器模塊,用戶可以控制晶片的確切位置和晶片托盤的速度以進行精確處理。MACTRONIX SWR-600晶片處理程序的功能包括集成的流程結束指示燈,在流程完成時向用戶發出警報;可手動設置的可調晶片高度,以及內置的緊急停止開關,以防止意外過度處理。它還具有確保晶片牢固固定到位的多位置真空晶片支架和允許用戶在緊急停止後返回到最後一層處理的Vaccum Resume功能。此外,它還包括一臺動態跟蹤機器,允許用戶將托盤的位置精確調整到適當的晶圓大小,以實現最佳加載。SWR-600晶片處理程序允許用戶輕松地在多個晶片大小之間進行切換,從而能夠滿足廣泛的工藝要求。它還提供了防止用戶過度處理或損壞其晶片的自動鎖定功能。此外,該工具還由工業級電氣資產提供動力,該資產設計為可承受極端溫度和振動。所有這些特性結合起來,為晶圓處理提供了有效可靠的機制。
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