二手 MECS UTC-100 #9097815 待售

MECS UTC-100晶片處理程序是一種先進的機器人設備，旨在使半導體晶片在III-V半導體器件制造過程中的轉移和對準自動化。它是第一個機器人晶圓處理系統，可以容納寬範圍的晶圓尺寸達200毫米，範圍從6英寸到12英寸晶圓直徑。它能夠處理各種各樣的基材尺寸、形狀和材料，包括（但不限於）SiC、GaAs和InP晶片。UTC-100晶圓處理程序設計為提供最大程度的自動化和最大的靈活性。它利用一個強大的機械臂，能夠達到六個軸的運動，操縱晶圓與針點精度。機械臂能夠在大型真空室中移動小至1毫米的晶片，從而使晶片在加工區域內的對準極為精確。它還被設計為可擴展的，允許它被集成到各種現有或新的半導體器件制造設施中。晶圓處理程序還能夠自動化將晶圓從一個基座轉移到另一個基座的過程，最大限度地減少人為錯誤的可能性，並創造更高效、更準確的工作流程。MECS UTC-100還有一個先進的視覺單元，精確定位晶圓位置，精確度高達一微米。憑借其強大的高精度視覺機器和直觀的用戶界面，能夠快速識別和定位晶圓-玻璃-基板對準。UTC-100晶圓處理器能夠有效地操作，以滿足III-V半導體器件制造工藝日益增長的需求。它是一種高度先進和可靠的機器人工具，專為提供高精度的最大自動化而設計。MECS UTC-100是III-V半導體器件制造過程中的一個極好的自動化工具，允許高效準確的線路跟蹤，同時為晶片提供最大限度的保護，使其免受潛在的汙染水平。