二手 MECS UTC-800P #9097821 待售

MECS UTC-800P是一種晶圓處理機，用於半導體工廠，用於傳輸多達8英寸晶圓。該處理程序旨在支持CVD、蝕刻、擴散、自旋漂洗幹燥、光刻、PVD和相關工藝。MECS UTC 800 P具有高達每小時60晶圓的高吞吐量，可以提供精確可靠的傳輸操作。桌面設計允許與現有工藝設備進行清潔和輕松的集成,其創新的晶圓處理組件現代體系結構可確保對時間敏感的工藝高效運行。晶片處理機采用「負載鎖」設備，利用氮或清潔空氣供應晶片在整個系統中傳輸。這個單元減少了轉移室與外界環境之間的空氣交換，使潔凈室的氣氛得以有效維護。UTC-800P從正面裝有8英寸狹縫卡帶、帶彈匣的卡帶和FOUP。處理程序可以控制每個機械臂的位置和速度，並主動拒絕位置或方向有故障的晶片。它也有一個保護板來拒絕錯誤的晶片。此外，它還配備了光學和硬動位置檢查機，以確保精確操作。安全是UTC 800 P設計中的一個關鍵特征。它具有兩點晶圓制導工具，符合SEMI S2/FSE標準。該處理器采用碰撞檢測和預防技術、堅固的框架結構和加固的主體進行安全操作。它還具有動態晶片斷裂預防、動態晶片角檢測、緊急停止功能和動態互鎖資產等特點。MECS UTC-800P是半導體行業中一種功能強大、可靠且安全的晶圓處理器。其創新的組件和嚴格的安全標準旨在提供精確的傳輸,即使在最苛刻的操作中也是如此,使其成為工廠流程的理想選擇。