二手 MECS UTX-1100 #66910 待售

MECS UTX-1100是一種專為半導體加工而設計的晶圓處理器,精度最高.處理程序基於450毫米乘450毫米的工作區域，在真空抓取設備上運行。該系統允許從75毫米到300毫米直徑的晶圓大小進行高效處理。雙軸運動單元設計用於在整個晶圓處理過程的所有操作中移動旋轉的晶圓。馬達驅動器可以達到高達300毫米/秒的速度，這使得晶片盒和加工工具之間可以快速、準確地移動。UTX-1100堅固的設計包括保護晶片免受汙染的盒式外殼腔室,以及確保即使在苛刻條件下也能正常運行的特殊雙腔室保護機。處理程序還包括精密線性編碼器工具和精細調節模塊，確保精確的精細定位和移動。其復雜的軟件控制器可以輕松編程和管理,以實現工作流的高效自動化,並減少因錯誤或故障而導致的停機時間。MECS UTX-1100可以控制真空離合器和夾具的壓力，以確保晶片在加工過程中牢固地固定在適當的位置，從而消除在操作過程中滑動或移位的可能性。內置的自動床對準資產有助於自動調整晶片盒式磁帶位置，以達到最大效率。UTX-1100設計易於維護,非常適合半導體行業中的大批量生產線。它的不銹鋼結構和集成的灰塵和液體保護使得它具有很高的耐用性，並且可以安全可靠地處理晶圓材料。