二手 MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19 #9411580 待售
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MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19是一款高度先進的自動化晶圓處理器,專為高容量8英寸晶圓應用而設計。它是一種完全集成的機器人搬運設備,既可用於半導體制造生產線,也可用於先進的研發設施。CR751-04VD1-0-S19采用獨特的單軸設計,無需復雜的機械連桿和轉盤。這樣可以在系統內進行精確、連續的晶圓推進和控制。該設備在MITSUBISHI專有軟件和硬件上運行,提供對處理過程中每個階段的精確控制。MITSUBISHI CR751-04VD1-0-S19具有模塊化設計,能夠為每個特定應用程序快速設置和重新配置。它配有機動化的Z軸主軸,以優化晶片的個體定位,並配有精確的內置視覺單元,以確保晶片和框架的精確對準。它還具有支持200毫米晶圓大小的晶圓主從機器人。這使得晶片能夠以高效、準確的方式精確加載和卸載。CR751-04VD1-0-S19還支持最多24塊晶片的並行傳輸。其集成的真空處理機可以精確處理多種不同類型的8英寸晶片,包括矽、的、砷化銨的晶片。它有一個高速精密傳輸工具,可以同時處理多達四個晶圓,同時調整它們之間的間距。三菱CR751-04VD1-0-S19與使用最廣泛的半導體制造工具兼容,如蒸發器、PECVD系統、LPCVD系統和自旋塗層。它還具有先進的安全功能,例如互鎖的檢修門和安全繼電器,以提供額外的安全保證。此外,它還配備了強大的實時數據收集和存儲功能,使其能夠準確處理更大的數據量。最後,CR751-04VD1-0-S19具有令人印象深刻的節能功能,有助於進一步提高成本效率。
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