二手 NADATECH RS2 #9314753 待售
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ID: 9314753
System
Steel frame
Steel bottom plate
Powder coated panels
EQUIPE ATM-407 Robot and robot track with vacuum backside
NADATECH Vacuum end effector with SURESCAN for wafer carrier mapping
(2) ASYST Loadports, 12" for FOUP and FOSB
INTEL System operating: >1,000 MHz
RAM: 1G
SSD HD: 80G
DVD Drive
LCD Monitor, 17"
Mini keyboard
Trackball mouse
Operating system: Windows XP.
NADATECH RS2是一種先進的晶圓處理程序,設計用於半導體晶圓的精確、自動處理和控制。其先進的設計提供了高精度的移動、出色的工藝控制以及卓越的多功能性。RS2具有5軸機械臂,最大可達755mm,以及6個自由度的三角形頭,可精確處理12英寸大小的晶片。此外,它的三維計數器平衡特性在處理晶片時提供了更高的精度。NADATECH RS2配備了自動氣電粒子檢測設備,設計用於檢測晶圓表面的缺陷、劃痕和顆粒,並自動調整其處理指令,以便安全精確操作。此外,還包括用於晶圓自動多軸對準的精密級。RS2還包括溫度通風系統,以保持最佳晶圓環境條件。NADATECH RS2擁有高速開環伺服裝置,可實現高度精確和可重復的定位,且精度一致且可重復到25微米以內。這款先進的晶圓處理程序基於晶圓直徑和厚度,一次最多可容納50個晶圓,是大容量應用的理想選擇。其先進的晶片夾緊機構進一步提高了使用RS2處理各種尺寸、形狀和材料晶片的靈活性。由於其卓越的精度和準確性,NADATECH RS2是適用於薄晶圓處理、超精密裝配和其他超高精度要求的理想解決方案。為了增加安全性和便利性,RS2設計為在全自動或手動模式下運行。這種靈活性使用戶可以在需要時使用計算機進行手動操作,或使用全自動操作以提高吞吐量。此外,NADATECH RS2還包括許多功能,如晶圓厚測量、自動檢索、可編程拾取和放置例程以及用戶定義的部件處理庫,以實現最大程度的過程控制。總體而言,RS2是精密處理和控制半導體晶片的理想解決方案。其先進的設計為高容量和超精度晶圓處理應用提供了卓越的多功能性、精確度和準確性。
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