二手 OLYMPUS FR3200 #293830855 待售

製造商
OLYMPUS
模型
FR3200
ID: 293830855
Heating oven.
OLYMPUS FR3200是一種全自動晶片處理系統,用於處理半導體應用中的晶片。它設計用於多種工藝,如熱處理、光刻、蝕刻、拋光和封裝。FR3200配備自動晶片交換、自動註入/分配,並且能夠處理直徑不超過8英寸的晶片。OLYMPUS FR3200配備了三軸晶圓機器人,用於精確定位和移動。晶圓交換站用於將處理程序與工藝工具連接起來。FR3200可以與可選的自動註入/分配模塊接口,從而使操作員能夠控制晶片加載和卸載過程,而無需手動加載或卸載晶片。這減少了加載或卸載晶片所涉及的體力勞動。它具有很高的吞吐量,在8英寸型號上每小時最多可容納30個晶圓。晶圓處理程序設計為操作友好,具有用於導航選項和設置的大型彩色觸摸屏顯示屏。該顯示屏包括一個實時進程監視器和一整套菜單,這些菜單用戶友好導航。晶圓處理程序還會自動檢查過程條件,並在過程中出現任何故障或不規則性時向操作員發出警報。OLYMPUS FR3200配備防撞傳感器,既保護晶圓處理程序,也保護工藝工具免受碰撞。晶片處理器包括振動和減震器,在處理過程中保護晶片。FR3200設計用於潔凈室環境,等級為1000級潔凈室。它包括HEPA過濾,以確保晶片在過程中保持無汙染物。此外,OLYMPUS FR3200還配有內置濕度和溫度控制系統,以確保工藝的最佳條件。FR3200設計便於維護和維修。它包括可快速更換的快速釋放部件和組件,從而減少維護和維修時間。它還配備了自動化的預防性維護和診斷功能,確保機器始終處於最佳運行狀態。最後,OLYMPUS FR3200是一種全自動晶圓處理系統,設計用於各種半導體工藝。它具有很高的吞吐量,在8英寸型號上每小時最多可容納30個晶圓。它配備了三軸晶圓機器人、自動註入/分配模塊和防撞傳感器,用於精確定位和安全。此外,FR3200設計方便維護和維修,包括內置濕度和溫度控制,以達到最佳工藝條件。
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