二手 OPTO MICRON FX-1209 #293641315 待售
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OPTO MICRON FX-1209晶片處理程序是一種先進的機器人晶片處理設備,旨在將晶片快速準確地送入和送出工藝室。通用和模塊化的設計允許添加多個組件,從而提供最佳性能和靈活性。該系統提供了多種高精度布置的配置，在操縱半導體基板方面提供了獨特的可能性。FX-1209使用集成的機械臂組件構建,配置為可容納最大500 mm直徑的各種尺寸的晶片。這個晶圓處理程序由一個高精度、雙軸機器人和一個比例、伺服控制器以及其他能夠在X、Y和Z軸上移動的元件組成。機器人和控制器由交流主電壓或可選直流主電壓供電。機器人可以由用戶通過直觀的、基於Windows的軟件包來操縱和編程。機器人手臂和控制器與工序室和其他外部系統接口，從而實現了測量、監控和控制系統的集成。其廣泛的組件（如可選的視覺系統、手柄操縱器和托盤加載附件）允許針對特定的工藝要求定制解決方案。OPTO MICRON FX-1209配備了最先進的運動控制單元,可實現高精度的定位和吞吐量。它靈活、功能強大的軟件可以方便地設置、優化和監控機器的運行。此外,該工具還支持各種通信協議,以實現與其他流程系統的集成。FX-1209包含若幹高級安全功能,例如ESD接地資產和安全聯鎖,為人員、流程和機器提供更大的安全性和保護。OPTO MICRON FX-1209晶圓處理器設計用於廣泛的工藝應用,如半導體制造、平板顯示器處理、LED裝配和太陽能電池制造。該模型可靠可靠,是工業應用中的首選.
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