二手 PRI / EQUIPE ESC 212B #9140501 待售

PRI / EQUIPE ESC 212B
ID: 9140501
晶圓大小: 8"
Robot controller, 8".
PRI/EQUIPE ESC 212B晶片處理程序是一種專門為涉及晶片的精細操作而設計的半導體處理工具。機器使用精密電機、執行器和其他組件來精確、重復地處理晶片。PRI ESC 212B是一種六軸晶片處理程序,能夠處理直徑從2「到8」,厚度從150 μ m到5000 μ m不等的晶片。機器在x、y、z和θ 1、θ 2 θ 3個方向移動晶片,以便對晶片進行精確控制和定位。此外,該機器還支持各種晶圓承載工具,包括夾具、真空卡盤和升降器。為了保持晶片的完整性,溫度和濕度控制是EQUIPE ESC 212B的關鍵特征。該機器的溫度範圍在1°C至60°C之間,濕度範圍在10%至80% RH之間。這允許了廣泛的工藝條件,並減少了可能損壞晶片的機會。ESC 212B能夠在封閉的無塵環境中同時運輸多達兩個晶片。該機器配有兩個晶片盒式磁帶,可用於單個晶片處理或雙晶片處理。晶片通過空氣軸承盤在盒式磁帶之間運輸,從而減少了顆粒汙染到晶片表面的機會。該機器還具有對晶片健康狀況的實時監測功能,包括粗糙度、晶體學取向和顆粒汙染。這允許在晶片移動時自動進行質量控制,並確保只處理高質量的晶片。最後,PRI/EQUIPE ESC 212B晶圓處理程序設計為用戶友好,具有直觀的圖形用戶界面。這樣可以快速設置機器參數,並便於在進程之間進行切換。該機還配有緊急停機按鈕、反向運動傳感器、聯鎖等廣泛的安全功能,安全操作。總之,PRI ESC 212B晶片處理程序是一種精確處理晶片的強大工具。溫濕度控制、晶片監控、雙晶片處理、用戶友好界面使其成為半導體加工的高度通用工具。
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