二手 PRO CABIN 667 #9148224 待售

PRO CABIN 667是一款先進的晶圓處理程序,旨在在受控環境中管理和加工基板。667具有堅固的金屬外殼和集成的波紋管,在運行過程中增強了汙染隔離和環境保護。在單元內，電動機驅動的傳遞臂精確地移動基板跨越三個主要區域；輸入、處理和輸出。這些區域中的每一個都有可單獨調節的集群，這些集群被設計用來精確地裝載和卸載基板。該設備由一個獨立的控制器供電，為設備的設置和管理提供了一個易於使用的接口。此外,診斷報告功能還可以輕松識別錯誤並快速糾正故障。開放式通信協議允許與外部設備（包括數據存儲、條形碼閱讀器等）輕松集成和兼容。PRO CABIN 667配備了多用途升降機，可針對最佳基板處理和加工進行調整。升力由兩速伺服電動機驅動，在傳輸和加工過程中對基板的位置提供精確控制。此外，升降機能夠處理各種基材，包括晶圓、陶瓷樣品、模具和裝配部件。該單元還設有創新的「清潔旁路」系統，允許對清潔基板進行批量處理，而無需手動清理每一個單獨的批次。旁路單元也減少了循環時間，允許增加輸出處理。此外，667能夠在大範圍的溫度範圍內自動處理基板；從室溫到350攝氏度。內置的溫度控制機可確保溫度均勻性和準確性,同時也不需要外部熱電偶或探頭。該工具還配備了廣泛選擇的感官和反饋選項，允許高度精確的過程控制。總體而言,PRO CABIN 667是以受控和高效的方式管理和處理基板的完美解決方案。其堅固的金屬外殼、精密的電機驅動傳動臂、易於使用的接口以及內置的溫度控制資產,即使在充滿挑戰的環境中也能確保優化的性能。