二手 RECIF MGI ALI6 #191000 待售

RECIF MGI ALI6晶片處理器是一種自動化晶片處理設備，設計用於先進的材料研究和半導體生產。該系統由一個高性能晶片處理機器人和一個集成晶片處理子系統組成，在各種材料過程中提供了充分的靈活性和可重復性。ALI6包括一個雙臂高速鉸接式機器人，總觸角650毫米，全360度觸角。最高轉速4700毫米/秒2，定位精度0.1毫米，具備開環扭矩控制能力。它能夠一次攜帶多達四個晶圓，空重為每晶圓3.2kg。機器人的高精度和可重復性使晶片精確地定位在工藝室上方，以獲得最佳的工藝結果。晶圓處理子系統包含晶圓定向、提升和清潔功能等功能,以及軟件控制的溫度控制單元。這樣做的目的是確保在所需設定值的+/-0.5°C內進行準確和可重復的溫度控制。該機操作320mm、200 mm和150 mm直徑的晶圓，能夠步進和重復晶圓運動。晶圓處理子系統的最大速度為0.9 m/s，最大加速度為1G。MGI ALI6是一種創新的自動化晶片處理工具,具有獨特的功能組合,專門為確保可靠和可重復的晶片處理而設計。它提供了一個高性能平臺，支持廣泛的材料加工和生產任務，每次都提供可重現的結果。集成晶圓處理子系統經過了短周期優化，確保了晶圓處理的快速準確，提高了吞吐量。