二手 RENA WTS Distribution #9190348 待售

RENA WTS Distribution是一種高精度晶片處理程序，旨在以高精度和重復性傳輸薄而易碎的晶片。它提供多種功能，包括多功能機器人臂、獨立運輸設備和晶圓預對準器。機器人手臂采用先進的三軸系統，在三維空間中達到載荷點。獨立的運輸裝置是專門為確保晶圓處理的最大安全和速度而設計的，不會影響精度。集成晶圓預對齊器可以在處理前獨立檢查、調整和對齊每個晶圓。WTS Distribution可以處理直徑不超過300 mm的晶片,並且能夠在大批量生產環境中以精確和可重復性將晶片傳輸到1200mm/s的最大速度。機器人手臂有一個可調的底夾，可以很容易的調整執行器的壓力所需的清潔拾取和移動晶片。其集成視覺機能夠一步步檢測晶片位置和檢測缺陷，提高了整體生產效率。除了處理功能外,RENA WTS Distribution還提供高級過程控制功能,用於復雜的晶圓處理。其直觀的用戶界面使得編程變得容易，具有程序內存、儲存量、多語言支持、配方加載、用戶級密碼等多種功能。該工具還具有超精確運動控制器，它使用PID控制算法來準確地遵循預編程指令。WTS Distribution能夠容納多種晶圓材料，包括矽、陶瓷和藍寶石。該資產設計為在各種潔凈室環境中運行，具有可旋轉的晶圓盒式磁帶和針對不同高度的快速可調性。它具有運動報警、總計數檢測、氣壓檢測等監控功能，提供安全可靠的處理流程。其全面的設計有助於減少停機時間，最大限度地減少操作員錯誤，最大限度地提高晶圓處理精度。