二手 RORZE 68RR8151-002-101 #293635474 待售

RORZE 68RR8151-002-101 Wafer Handler是為200 mm和300 mm半導體制造工藝設計的自動化晶圓處理設備。它有一個多層次的設計，允許處理多個盒式磁帶或FOUP（前開統一吊艙）和單元，以及半導體的轉移和定位。68RR8151-002-101配備了CCD攝像頭、X和Y高速同步運動平臺、高精度定位系統和具有防撞功能的機械臂。高精度定位單元采用槳葉托盤，確保晶圓對準和定位精度極高。機器人手臂沿著X軸和Y軸移動，拿起帶有真空吸盤的晶片，放在盒式磁帶中。RORZE 68RR8151-002-101每小時最多可處理60個晶圓,最大晶圓大小為150 mm x 150 mm。它有一個靈活的安裝機器，使它能夠安裝在不同的方向。該工具設計為與各種生產線兼容，可以與其他RORZE晶圓處理程序（如RORZE 68RR6003）結合使用。68RR8151-002-101配備了一系列復雜的預防和檢測功能,例如用於檢測真空的壓力傳感器、用於監視晶圓高程的升力傳感器和用於檢測未對準晶圓的傾斜傳感器。壓力傳感器監視吸頭的真空壓力，而升力傳感器監視晶圓的位置。傾斜傳感器用於檢測晶圓傳輸過程中可能發生的任何未對齊情況,並在發生任何未對齊情況時向用戶發出警報。RORZE 68RR8151-002-101還具有用於計算機控制的接口和易於使用的用於配置和維護的GUI。這確保了操作員可以輕松地設置和維護資產，以及監控其運行。綜上所述，68RR8151-002-101是一種專為半導體制造應用而設計的功能強大的晶圓處理模型。它的可靠性、準確性和速度使其成為任何希望改進半導體制造工藝的半導體工廠的絕佳選擇。