二手 RORZE ACE 300 #9250463 待售
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RORZE ACE 300是專門為半導體及相關行業的高性能200 mm晶圓處理和處理而設計的晶圓處理器。它具有最先進的兩軸伺服電機驅動設備,可最大程度地減少噪音和振動,並在操作200 mm晶片時提供卓越的精度。雙軸驅動系統由線性Y軸和高速旋轉X軸各自獨立運行組成。ACE 300高可靠性,高精度高達+/-0.8微米。它可以容納直徑從150毫米到300毫米不等的晶圓,最大晶圓旋轉速度為每秒300度。晶片牢固地安裝並支撐在相對的兩側,從而最大程度地減少了運動過程中的滾子和間距分流器。處理程序還配備了一個安全快門單元,防止任何晶片被置換,直到是時候將它們釋放到機器中。這樣可以確保晶片的加工準確、安全。它還采用了先進的多區真空控制器進行晶圓預對準。此外,它還有一個內置的晶圓預對準夾具,可以方便地手動加載和卸載晶圓,最大限度地減少在加載上花費的時間和精力。該夾具可以很容易地針對不同類型的晶片進行調整和優化。RORZE ACE 300非常直觀和用戶友好,包括圖形觸摸屏顯示和用戶友好界面。這使得運算符對用戶定義的參數進行編程並監視進程的每個步驟非常方便。它可以用非常高效和準確的方式處理和加工200毫米晶圓。
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