二手 RORZE EFEM #9255471 待售

RORZE EFEM是為半導體加工而設計的下一代晶圓處理平臺。它結合了最先進的組件、高端自動化和多用途的控制功能,提供出色的用戶體驗。EFEM系統包括加載/卸載階段、晶圓階段和傳輸階段。裝卸級有兩臺電動機位於表的每一端附近，從而使晶片能夠從存儲載波中高效準確地運輸。它還具有檢測晶片存在的位置傳感器和增強性能的視覺系統。晶片級由一個精密電動機和一個用於控制驅動主軸的旋轉螺線管和一個用於固定晶片的卡盤組成。它具有高速旋轉和振動的能力，一次最多可容納8個晶圓。轉移階段包含兩個爪單元，能夠將晶片從一個階段快速準確地轉移到另一個階段。此外，RORZE EFEM還包括一組復雜的控制功能。它具有直觀和易於使用的用戶界面，圖形顯示提供有關晶圓位置和狀態的實時信息。它還包括PID控制，允許用戶為晶圓級和傳遞級的速度、壓力和扭矩設置特定的目標值。該系統可以使用各種命令和參數進行編程以獲得最佳性能,並且最多可以存儲30種配置。最後,EFEM是為安全運行而設計的,考慮到安全性和可靠性.它具有多種安全系統，包括門開關、安全繩和晶圓檢測傳感器。它也被設計成盡量減少振動和防止損壞晶片。RORZE EFEM在晶圓處理方面提供卓越的性能,為高效半導體處理提供了卓越的自動化水平。它將最先進的組件與復雜的控制功能結合在一起,為高級用戶體驗提供了易於使用和安全的操作。