二手 RORZE MZ8-2HRSC101-004-02 #293597144 待售

RORZE MZ8-2HRSC101-004-02
ID: 293597144
EFEM Wafer handling Power supply / Controller: 3W01169-11.
RORZE MZ8-2HRSC101-004-02是為生產級自動化應用而設計的高性能晶圓處理程序。處理程序的高效設計及其重型結構提供了可靠準確的處理能力。MZ8-2HRSC101-004-02具有高扭矩、直流直流伺服電機的驅動機構。這提供了高加速度、平滑的輸出以及索引操作過程中最小的殘余振動,有助於保證高吞吐量和運動的重復性。此外,驅動機構采用編碼器反饋系統和內置離合器加速器,用於精確的索引和粗糙的定位能力。這進一步有助於為最終用戶提供更準確的索引。處理程序還包括一個自動對準功能,由位於處理程序板底部附近的四組高精度雙壓電驅動對準傳感器實現。傳感器提供晶片的高精度對準,不需要手動對準晶片。RORZE MZ8-2HRSC101-004-02還具有旋轉木馬加載接口。該系統的設計使多達15個晶片可以一次加載到處理程序中,從而減少了加載時間,並有助於提高自動化項目的效率。處理程序還可以處理直徑從4英寸到12英寸不等的晶圓尺寸。MZ8-2HRSC101-004-02也非常可靠。機電零件經過設計,可承受高速和較長的使用壽命。此外,處理器集成的高精度零件及其高效的設計使其能夠用於需要高精度和重復性的工廠和生產線。總體而言,RORZE MZ8-2HRSC101-004-02是為生產級自動化應用程序設計的高性能晶圓處理程序。處理程序的高效設計、耐用的構造、集成的對齊和加載功能,以及它與多個晶圓尺寸的兼容性,使MZ8-2HRSC101-004-02成為一系列晶圓處理解決方案的理想解決方案。
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